单晶金属原子级制造研究取得进展

上海技物所提出分步蒸镀方法，在少量原子沉积之间留出弛豫时间，使金属更有序地成核与生长。团队制备多种单晶金属薄膜，并在二维半导体接触中验证较低电阻，为原子级器件制造提供材料工艺。